ERDA (Análisis de detección de retroceso elástico)
El análisis de detección de retroceso elástico se basa en la detección de núcleos que retroceden de la muestra tras el impacto de los iones del haz incidente. Las energías de retroceso dependen de la masa de las especies y de la profundidad dentro de la muestra. Por lo tanto, ERDA proporciona un análisis composicional con resolución en profundidad. ERDA complementa la técnica RBS, ya que funciona muy bien para la detección de especies ligeras en un sustrato atómico más pesado (justo lo contrario de RBS).
En el CMAM, ERDA se utiliza con un haz de iones de He (o más pesados) y una lámina colocada delante del detector para el perfilado en profundidad de hidrógeno y deuterio, y también con la opción de tiempo de vuelo, lo que permite el perfilado en profundidad simultáneo de varios elementos diferentes sin ninguna ambigüedad, incluyendo la resolución isotópica para elementos ligeros.