Línea de Microhaz Interno

Responsable científico: Mª Dolores Ynsa Alcalá

Esta línea es una extensión de la línea de haz estándar que permite focalizar en una amplia gama de haces de iones, desde protones (hasta 10 MeV) hasta iones pesados como B, O o Si (con decenas de MeV).

La línea fue diseñada originalmente en el Micro-Analytical Research Center (Melbourne). La colimación del haz se lleva a cabo con dos conjuntos precisos de rendijas X-Y micrométricas: rendijas motorizadas para objetos (construidas por TB Fischer) y rendijas manuales para colimador (fabricadas en Croacia). Se utiliza un conjunto de cinco lentes cuadripolares, que se asemejan ópticamente al sistema CSIRO-GEMOC, para enfocar el haz. La configuración de estas lentes está condicionada por la rigidez magnética del haz. Un haz de protones de 2 MeV se puede enfocar de forma rutinaria con resoluciones espaciales de 2 μm × 2 μm y corrientes superiores a 1 nA, mientras que los iones pesados pueden alcanzar fácilmente un tamaño de punto de aproximadamente 5 μm × 5 μm con una corriente de aproximadamente 500 pA. El haz enfocado se escanea sobre la muestra con un deflector magnético. Se pueden usar dos etapas posicionales para sostener las muestras: un manipulador XYZ manual (McAllisterMA1006) cubre 150 mm verticalmente y 25 mm en las direcciones X y Z, y una etapa piezoeléctrica de posicionamiento XYZ (MechOnicsMS30), que se desplaza 60 mm en una dirección y 30 mm en otras dos direcciones, con una precisión de posicionamiento superior a 100 nm. Se utiliza un microscopio óptico para controlar la alineación de la muestra del haz. La cámara de análisis está equipada con un detector de Si de barrera de superficie para RBS, un detector de rayos X para PIXE y un fotodiodo (colocado detrás de la muestra) para análisis STIM.