Fuente de Iones por Pulverización catódica
Acelerador

La fuente de iones negativos por pulverización catódica (modelo HVEE-860) es capaz de producir haces de iones negativos partiendo de blancos sólidos que contengan átomos de la especie de la que se desea crear el ion. Los iones son producidos por el bombardeo del blanco mediante iones de cesio. En la atmósfera cercana al blanco existen también átomos neutros de Cs que crean una capa fina sobre el blanco como resultado de la condensación en la superficie del mismo. Los átomos arrancados del blanco intercambian electrones con el Cs de esta fina capa cuando la atraviesan, convirtiéndose en iones negativos. De esta forma se producen directamente iones negativos, no siendo necesario utilizar una configuración adicional como la del canal de Li. Los iones negativos son repelidos hacia la región de extracción, mientras que los electrones secundarios, producidos en las colisiones, son eliminados del haz por medio de un campo magnético permanente.

Existen elementos (nitrógeno, por ej) de los que no es posible obtener un ion negativo, ya que poseen una afinidad electrónica negativa. En estos casos, se procede a la extracción de la fuente de un haz molecular (NH-, por ejemplo), que es inyectado en el acelerador. Cuando la molécula llega a la región de intercambio de carga, en el centro del acelerador, no sólo se convierte en positiva, sino que además se rompe, obteniéndose así el ion positivo de la especie buscada (N+ en nuestro ejemplo). Este catión es acelerado en la segunda etapa igual que cualquier otro.